ViaForm®

Kupfer-Damaszene-Prozesse

Die Enthone ViaForm® Kupfer-Damacene Systeme für die Waferherstellung zeichnen sich durch hervorragendes Füllverhalten auch kleinster Struktur aus. Die Elektrolyte sind speziell für die Fertigung moderner Kupfer-Interconnects entworfen. Sie erfüllen die Anforderungen kommender Entwicklungen. Für jeden Elektrolyt ist eine Prozesskontrolle vorhanden, um das Füllverhalten der Interconnect-Strukturen zuverlässig und über einen weiten Arbeitsbereicht zu ermöglichen.

ViaForm bietet klare Vorteile, da es die Anforderungen der immer kleiner werdenden Geometrien erfüllt. Dadurch bietet es den Chip-Herstellern die Flexibilität, die Chemie in ihre bestehenden Prozesse und Tool-Systeme zu integrieren. Dies ist besonders für die Herstellung von Speicher- und Logik-Bauteilen wichtig.

Die Steady State-Verfahren ermöglichen, gleichbleibende physikalische Eigenschaften und eine zuverlässige Funktion der Bauteile. Weitere Vorteile sind:
  • Hohe Kompatibilität zum CMP-Prozess
    • Verbessert die Ausbeute und unterstützt die Vorwärtsintegration durch eine geringe Defektrate
  • Voll analysierbarer Prozess
    •  Robuste Technologie
    • Stabil
    •  Breites Betriebsfenster
    • Einfache Prozesssteuerung
    • Niedrigste Betriebskosten
  •  Geräte-spezifische Prozessprozessparameter einstellbar
Enthone produziert ViaForm - gestützt von seinen modernen Forschungseinrichtungen - in seiner großtechnischen Fertigungsanlage (High Volume Manufacturing - HVM) in Connecticut, USA. Die HVM übertrifft die Reinraumanforderungen der Klasse 1000 und bietet eine computerintegrierte Fertigung mit einer Online-Partikel-Count-Analyse sowie einer vollautomatischen und einer geschlossenen Chemieverteilung mit exakt zugeordneten Verar

beitungsströmen. Die Anlage ermöglicht eine

ViaForm ist ein sehr gutes Beispiel für die Umsetzung unseres Leitgedanken, Elektrochemie auf dem neuesten Stand der Technik zu entwickeln und zu vertreiben, um die sich ständig wachsenden Anforderungen zukünftiger Kupfer-Interconnect Generationen zu erfüllen. ViaForm Chemie wird von den bedeutenden Halbleiterherstellern der Welt eingesetzten, die die überlegenen Fülleigenschaften in der Serienfertigung, die geringe Fehlerquote und hohe Integration mit dem chemisch-mechanische Polierprozesse (CMP) schätzen.

Unsere ViaForm-Elektrolyte werden exklusiv von ATMI, Inc., Danbury, Connecticut, USA vermarktet und weltweit vertrieben.